勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫SpinProcessor或者SpinCoater，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

 

針對目前勻膠機(jī)市場品牌眾多的情況，綜合多年從事勻膠機(jī)技術(shù)研究的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)，為幫助廣大用戶提高辨別能力，下面為大家提供直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。從其原理來說，我們可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)：

 

1、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

 

真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生的情況，還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問題，這一點(diǎn)許多國外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò)，他們有通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。

 

2、旋轉(zhuǎn)速度

 

轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能精確標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有國際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有國際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，比如：美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。

 

3、材質(zhì)的選擇

 

對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。安賽斯（中國）有限公司提醒廣大客戶：在選購勻膠機(jī)的同時(shí)，一定要注意品牌和質(zhì)量，價(jià)格其次，市場上的勻膠機(jī)層次不齊，客戶在購買時(shí)要慎重考慮。